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激光微加工

随着新激光源的出现和出于成本效益的考虑,硬脆部件的激光微加工正变得越来越主流。它是一种灵活、清、快速的方法,可以实现以前无法实现的效果。利用小的激光束光斑尺寸,高功率和短脉冲,可以控制材料的精准去除,从而允许以最小的热影响区加工微型模板。像因科耐尔合金(Inconel)这样的硬质材料可以加工,脆性材料也完美加工构造成各种需要的形状。


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(激光微机硬金属Inconel无热影响区)


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Inconel 713C激光微加工的平面图。显示锐利的加工和最小化的影响区


采用超短脉冲技术,促进非热激光加工,通常称为冷激光烧蚀,过程绝热,通过喷射烧蚀材料去除热量。 在激光加工后,没有重铸,熔化的颗粒污染物和材料上的微裂纹飞溅。通过使用海雷科技独有的Scanvison,该系统可以达到更高的+/- 15um的精度。


玻璃晶圆上的材料去除

使用正确类型的激光可以轻松透过玻璃进行内部加工。 通过从玻璃基板上去除层,可以制造微结构,微图案和非常精细的特征。 下图的尺寸为2.4 mm x 2.4 mm x 0.45 mm 这些特征清晰干净,热影响区可忽略不计。

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(激光钻孔和玻璃基板上的微加工



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(激光钻孔和玻璃基板上的微加工



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(带激光微结构孔的玻璃

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